ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И ОСОБО ЧИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК, ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ

142432, Россия, Московская обл., г. Черноголовка, ул. Академика Осипьяна, д. 6, ИПТМ РАН
+7 (49652) 4-40-60
+7 (49652) 4-42-25

Фундаментальные исследования, методы и аппаратура формирования структур и диагностики в твердотельной микро- и наноэлектроники, рентгеновской оптики, электронной и рентгеновской литографии.