НИИ Точного Машиностроения (НИИТМ) уже 45 лет создаёт специальное технологическое оборудование для микроэлектронного производства. С 1993 года предприятие входит в бизнес-направление "Высокие технологии" Корпорации АФК "Система", а с 2005 года в холдинг ОАО "Ситропикс". Сегодня НИИТМ наряду с модернизацией и сервисным обслуживанием промышленного оборудования, ведёт разработку экспериментального оборудования для отработки технологии наноэлектроники, наноматериалов, МЭМС и др. с использованием плазмостимулированных процессов осаждения и травления.