Компания "ЭСТО-Вакуум" российское проектно-сборочное предприятие, которое разработало и серийно выпускает семейство вакуумно-технологического оборудования серии "Caroline".
Данное оборудование предназначено для производства гибридных интегральных схем, силовых полупроводниковых приборов, производства MEMS, травления полупроводниковых лазеров, изучения и обработки арсенида галлия.