НИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО МАШИНОСТРОЕНИЯ, ОАО

Россия 394033, Воронеж, Ленинский пр., 160

Разработка, изготовление оборудования для процессов фотолитографии, плазмохимической и химической обработок поверхности; оборудования и комплексов для получения особо чистой воды и очистки исходной воды от микрочастиц, минеральных солей, органических веществ, бактериальных загрязнений, коллоидных примесей; контрольно-измерительного и испытательного оборудования и комплексов для контроля параметров полупроводниковых приборов и ИС.