Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения: разработка, изготовление оборудования для процессов фотолитографии, плазмохимической и химической обработок поверхности; оборудования и комплексов для получения особо чистой воды, контрольно-измерительного и испытательного оборудования и комплексов для контроля параметров полупроводниковых приборов и ИС.