ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И ОСОБОЧИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ, УЧРЕЖДЕНИЕ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК (РАН)

142432, Россия, Московская обл., Истринский р-н, г. Черноголовка, Институтский просп., д. 6
+7 (496) 524-40-60
+7 (496) 524-42-25

Физические основы: технологии формирования структур микро- и наноэлектроники и методов и аппаратуры для их диагностики.
Развитие методов электронной и рентгеновской литографии и микроскопии.