Институт представляет однозондовые ("Луч-2") и 2-4-зондовые ("Луч-3") нанотехнологические комплексы, предназначенные для создания объектов с нанометровыми размерами различного функционального назначения, проведения нанотехнологических процессов, нанесения проводящих материалов на любые подложки, включая диэлектрические ("Луч-3") .
Комплексы "Луч-2" поставляются потребителям, "Луч-3" - находятся в стадии рабочего проектирования.