Основные темы исследовательских работ: физические основы и проблемы, формирования структур микро- и наноэлектроники, диагностика структур микро- и наноэлек-троники, рентгеновская оптика, электрические и оптические свойства структур манометровых размеров, чистые вещества и материалы электронной техники, разработка и создание нового технологического и аналитического оборудования.