ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И ОСОБО ЧИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ РАН

142432, Черноголовка, Московская обл., РФ
+7 (095) 962-80-74
+7 (095) 962-80-47
http://www.ipmt-hpm.ac.ru

Основные темы исследовательских работ: физические основы и проблемы, формирования структур микро- и наноэлектроники, диагностика структур микро- и наноэлек-троники, рентгеновская оптика, электрические и оптические свойства структур манометровых размеров, чистые вещества и материалы электронной техники, разработка и создание нового технологического и аналитического оборудования.