115230, Москва, Электролитный проезд, д. 1А, РФ
+7 (095) 317-52-27
+7 (095) 317-52-27
Установки ионно-лучевого легирования;
Критические элементы имплантера: приемные камеры, ионные источники, ускоряющая структура, ионно-лучевой транспорт;
Вакуумные откачные посты;
Программно-технические комплексы;
Топливные элементы и электролизеры на основе ТПЭ;
Модернизация ИЛУ "Доза" "Декрет" "Лада-30".