Hitachi High-Technologies создана в 2001 года при слиянии двух подразделений Hitachi, Ltd. и компании Nissei Sangyo Co., Ltd., что позволило объединить функции производства, продаж и сервиса. Instruments Group вложила свою хорошую репутацию в области технологий измерения; вклад Semiconductor Manufacturing Equipments Group состоял в технологии производства высокотехнологичного оборудования для полупроводниковой промышленности; Nissei Sangyo Co., Ltd. вложила свои компетенции в области продаж хай-тек продукции и создания нового бизнеса в разных странах мира, используя глобальную сеть присутствия. В дальнейшем к компании были присоединены: бизнес по SMD установщикам в 2003 г. и производственные мощности Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. по выпуску технологического оборудования для производства плоских панелей и жестких дисков в 2004 г. Компания Hitachi High-Technologies ставит цель стать лидером в области высоких технологий глобального масштаба в четырех бизнес-сегментах: электронные приборы и системы, биомедицинские аналитические приборы, информационные системы и электронные компоненты, индустриальные продукты и решения.