ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И ОСОБОЧИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ РАН (ИПТМ РАН)

142432, Черноголовка Московской обл.

Основные темы исследовательских работ: физические основы и проблемы формирования структур микро- и наноэлектроники; диагностика структур микро- и наноэлектроники; рентгеновская оптика; электрические и оптические свойства структур нанометровых размеров; чистые вещества и материалы электронной техники; разработка и создание нового технологического и аналитического оборудования.