Разработка, изготовление оборудования для процессов фотолитографии, плазмохимической и химической обработок поверхности; оборудования и комплексов для получения особо чистой воды, контрольно-измерительного и испытательного оборудования и комплексов для контроля параметров полупроводниковых приборов и ИС; разработка и внедрение проектов энергосбережения в ЖКХ (системы контроля и учета расхода энергоресурсов, светодиодные светильники, теплоизолирующие материалы).