НИИ точного машиностроения (НИИТМ) уже 45 лет создает специальное технологическое оборудование для микроэлектронного производства. С 1993 года предприятие входит в бизнес-направление "Высокие технологии" корпорации АФК "Система", а с 2005 года в холдинг ОАО "Ситроникс". Сегодня НИИТМ наряду с модернизацией и сервисным обслуживанием промышленного оборудования ведет разработку экспериментального оборудования для отработки технологии наноэлектроники, наноматериалов, МЭМС и др. с использование плазмостимулированных процессов осаждения и травления.