Клапаны высоковакуумные, щелевые затворы; компоненты систем газонапуска (клапаны, фильтры микроочистки газов, расходомеры); приводы для вакуумных камер; элементы систем охлаждения для оборудования (чиллеры, реле протока, цифровые датчики расхода); комплектующие оборудования, предназначенного для работы в "clean rooms"; линейные электроприводы с ШВП; комплектующие для оборудования фотолитографии и технохимии (клапаны, пневматические насосы, расходомеры); пневматика