Описание
Основные тематические разделы:
- Электроника
- Микроэлектроника
- Коммуникации
- Криогеника
- Плазменная наука и технологии
- Технология покрытий
- Покрытия и тонкая пленка
- Напыление, гравировка и снятие фоторезиста
- Печи обжига
- Оборудование для литографии и фоторезиста
- Индустриальные и химические процессы
- Вакуумная металлургия